Технология трафаретной печати «Точное позиционирование, постоянная толщина» для процессов нанесения покрытия на полупроводниковые пластины из стеклянного порошка
Пластина — это кремниевый чип, используемый при производстве кремниевых полупроводниковых интегральных схем, а ее исходным материалом является кремний. Поликристаллический кремний высокой чистоты растворяется и легируется в затравку кристалла кремния, а затем медленно вытягивается с образованием цилиндрического монокристаллического кремния. Стержни кремниевых кристаллов шлифуются, полируются и нарезаются ломтиками для получения кремниевых пластин, также известных как пластины.

Кремниевые пластины можно перерабатывать и изготавливать из них различные структуры элементов схемы, которые становятся интегральными схемами со специфическими электрическими функциями. При производстве электронных компонентов из пластин необходимо покрывать пластины стеклянным порошком, чтобы обеспечить образование защитного стеклянного слоя на стороне чипа после резки.
В настоящее время нанесение большей части стеклянного порошка на пластину осуществляется вручную, вручную смешивая стеклянный порошок с водой, а затем нанося смешанный стеклянный порошок на пластину. Этот метод окраски не только имеет меньшую скорость, но и влияет на скорость производства изделия, при этом себестоимость изделия также возрастает. Кроме того, качество порошкового покрытия стекла зависит от трудолюбия рабочих, а стабильность покрытия низкая, что легко приводит к тому, что на поверхности пластины остаются остатки стекла. Это приводит к низкому уровню квалификации электронных компонентов и дополнительно увеличивает себестоимость изделия. Хотя существуют также сопутствующие производственные процессы для улучшения качества покрытия путем протирки порошка или оборудования для наполнения, но все же не может быть хорошим решением для улучшения скорости серийного нанесения покрытия, согласованности и толщины напечатанных деталей, операция является громоздкой и сложной, и поэтому по самым разным вопросам.

Схема процесса обработки пластин
Технология толстопленочной трафаретной печати имеет широкий спектр применения в производстве полупроводников, ее можно применять для покрытия пластин стеклянным порошком, фоторезиста, пайки полупроводниковых упаковочных звеньев и пассивации изолирующей пленки и других процессов производства полупроводников. Высокоточная машина для трафаретной печати, разработанная и произведенная компанией Jianyu Screen Printing, получила широкое признание и доверие клиентов в области производства полупроводников благодаря высокой точности печати, равномерной толщине, высокой степени автоматизации и простоте управления.

Высокоточная машина для трафаретной печати Vility в процессе порошкового покрытия вафельного стекла.

Особенности оборудования:
1. Система автоматического визуального выравнивания CCD может быстро найти точку отметки и в течение 0,3 секунды быстро определить отклонение размещения подложки продукта и автоматическую визуальную коррекцию, простое и удобное управление, точность выравнивания печати ± 5 мкм.
2. Ход печати с использованием высокоточной импортной линейной направляющей с сервоприводом, так что скребковый нож поддерживает равномерную скорость и стабильное состояние после общей отладки и калибровки системы, чтобы эффективно обеспечить равномерную консистенцию печатного покрытия, Точность отклонения толщины слоя чернил до ± 4 мкм.
3. Печатный стол оснащен системой сервопривода, которая обладает превосходной стабильностью и трудостойкостью - полностью цифровое позиционирование, высокая эффективность печати, точность надпечатки буферной графики.
Скорость разработки ключевых компонентов отечественных полупроводников продолжает расти, и для производства этих компонентов все больше и больше требуется высокоточная машина для трафаретной печати для повышения эффективности производства и стабильности продукта. Компания Jianyu Screen Printing всегда будет придерживаться принципа «технология — это король, основанная на инновациях». философия бизнеса, чтобы увеличить R& D и инновации, для отечественного производства полупроводников, чтобы обеспечить более быстрые, надежные и комплексные услуги в области технологий трафаретной печати для отечественного производства полупроводников.